Teori kerja：

Dengan mengepam relau terlebih dahulu untuk mengosongkan vakum dan kemudian memanaskan untuk menetapkan suhu, kembungkan ammonia untuk proses nitriding, kemudian pam dan kembungkan semula, selepas beberapa kitaran untuk mencapai kedalaman nitrida yang disasarkan.

Kelebihan:

Bandingkan dengan nitridasi gas tradisional. Dengan mengaktifkan permukaan logam dalam pemanasan vakum, nitridasi vakum mempunyai kapasiti penjerapan yang lebih baik, untuk mencapai masa proses yang lebih singkat, kekerasan yang lebih tinggi,tepatkawalan, kurang penggunaan gas, lapisan sebatian putih yang lebih padat.