Pengkarburan vakum adalah untuk memanaskan bahan kerja dalam vakum.Apabila ia mencapai suhu di atas titik kritikal, ia akan kekal untuk satu tempoh masa, nyahgas dan mengeluarkan filem oksida, dan kemudian masuk ke dalam gas pengkarbonan yang telah dimurnikan untuk pengkarbonan dan penyebaran.Suhu pengkarburan vakum pengkarbonan adalah tinggi, sehingga 1030 ℃, dan kelajuan pengkarbonan adalah pantas.Aktiviti permukaan bahagian berkarburkan dipertingkatkan dengan penyahgasan dan penyahoksidaan.Kelajuan resapan seterusnya terlalu tinggi.Karburasi dan resapan dijalankan berulang kali dan berselang-seli sehingga kepekatan dan kedalaman permukaan yang diperlukan dicapai.
Kedalaman pengkarbonan vakum dan kepekatan permukaan boleh dikawal;Ia boleh mengubah sifat metalurgi lapisan permukaan bahagian logam, dan kedalaman pengkarburannya yang berkesan adalah lebih dalam daripada kedalaman pengkarburan sebenar kaedah lain.