Ciri-ciri:

1) Kelajuan nitriding adalah lebih pantas, kitaran nitriding boleh dipendekkan dengan sewajarnya, dan masa nitriding ionik boleh dipendekkan kepada 1/3-2/3 daripada masa nitriding gas.

2) Kerapuhan lapisan nitriding adalah kecil, dan lapisan putih yang terbentuk pada permukaan nitriding plasma sangat nipis, atau bahkan tiada. Di samping itu, ubah bentuk yang disebabkan oleh lapisan nitriding adalah kecil, yang amat sesuai untuk bahagian ketepatan dengan bentuk yang kompleks.

3) Penggunaan tenaga dan ammonia dapat dijimatkan. Penggunaan tenaga elektrik ialah 1/2-1/5 daripada nitridasi gas dan penggunaan ammonia ialah 1/5-1/20 daripada nitridasi gas.

4) Mudah untuk merealisasikan nitriding tempatan, selagi bahagian yang tidak memerlukan nitriding tidak menghasilkan cahaya, bahagian bukan nitriding mudah dilindungi, dan cahaya boleh dilindungi oleh perisai mekanikal dan plat besi.

5) Pengeboman ion boleh membersihkan permukaan dan menanggalkan filem pasifasi secara automatik. Keluli tahan karat dan keluli tahan haba boleh dinitridasi secara langsung tanpa menanggalkan filem pasifasi terlebih dahulu.

6) Struktur lapisan majmuk, ketebalan dan struktur lapisan penyusupan boleh dikawal.

7) Julat suhu rawatan adalah luas, dan ketebalan lapisan nitriding tertentu boleh diperolehi walaupun di bawah 350 C.

8) Keadaan buruh telah dipertingkatkan. Rawatan nitridasi plasma dan bebas pencemaran dijalankan di bawah tekanan yang sangat rendah dengan gas ekzos yang sangat sedikit. Sumber gas ialah nitrogen, hidrogen dan ammonia, dan pada asasnya tiada bahan berbahaya dihasilkan.

9) Ia boleh digunakan untuk semua jenis bahan, termasuk keluli tahan karat, keluli tahan haba dengan suhu nitriding tinggi, keluli alat dan bahagian ketepatan dengan suhu nitriding rendah, manakala nitriding suhu rendah agak sukar untuk nitriding gas.